ビューポートシャッター

蒸着装置、スパッタリング、CVD装置等においては、しばしばビューポートに蒸着物が付着し、その機能を損なうことがあります。 本シャッターを用いることにより、高真空に影響を与えず、ビューポートを蒸着物より守ることができます。

機器仕様