真空内で正確にサンプルまたは機器を直線移動させる為に利用されます。
接続フランジはICF70/ICF114まで標準として準備しております。
特長
- 移動距離範囲 ：50mm/100mm
- フルベーキング：180℃
- 接続フランジ ：ICF70/ICF114・ICF152以上は受注生産品
機器仕様
| 型式 | LTM-070/50 | LTM-070/100 | LTM-070/1000 | LTM-070/1200 |
| 可動部 | 溶接ベローズ | |||
| 接続フランジ | ICF070 | ICF070 | ||
| アキシャル伝達力 | 200N | |||
| 直線移動距離 | 50ｍｍ | 100ｍｍ | 50ｍｍ | 100ｍｍ |
| 使用圧力範囲 | 大気圧～10-8Pa | |||
| 許容ベーキング温度 | 180℃ | |||
| リーク量 | 2×10-11Pa・ｍ3/sec以下 | |||
| 質量 | 4.0kg | 4.5kg | 6.0kg | 6.5kg |