UHV L型真空バルブ

特長

  • メタルボンネット：ベーキング高温対応
  • UHV対応：超高真空領域
  • サービスポート：各種真空計センサー/電流導入端子取り付け
真空装置内及び配管を小スペース内で各種導入可能にできます。
サイズはCF-070タイプ4ヶ所付です。
プリベーク処理済み品も用意可。バルブ本体は直接取り付けられ再度ベーキングの必要もありません。
寸法は他の標準品と同一でCF70取り付け部のみプラス50ｍｍです。
タイプは手動型（Φ150ハンドル付）
タイプは圧力駆動型（開閉センサー付）
使用真空領域　大気圧～10-8Pa程度
リーク量5×10-11Pa-ｍ3sec以下


機器仕様

型式 MAV-CF-114(P) MAV-CF-152(P) MAV-CF-203(P)
接続フランジ ICF114 ICF152 ICF-203
材質 本体 SUS304
Oリング バイトン
ベローズ 溶接ベローズ（SUS304)(SUS316)
ストローク 20ｍｍ 30ｍｍ 75ｍｍ
使用圧力範囲 大気圧～10-8Pa
リーク量 5×10-11Pa-ｍ3/sec以下
作動方式 手動/圧空式