真空ガス置換型グローブBOX

低圧スパッタガン

直線導入機

回転導入機

UHVトランスファーロッド

角型トランスファーロッド

リニアトランスファー

UHV L型真空バルブ

真空バルブ Oリングシールタイプ

高真空バルブ

ビューポートシャッター

各種真空関連部品

ISO真空フランジ