- オールメタル式・軽量・コンパクト角型ボディーの為、平行移動が正確（メンテナンスフリー）
- 真空装置内で平行直線の移動が必要な時に利用されます。
- 本導入機は磁気結合型で磁気回路にネオジウム磁石を使用しております。
用途
- ロードロックより受け渡し
- サンプルの移動
特長
- 豊富な移動距離（L=50～1500ｍｍ）
- 容易なメンテナンス（オールメタル製）
- 超高真空対応（メタルシール）
機器仕様
| 型式 | TR-070M25/50～1500（特注品可） |
| 結合方式 | 磁気 |
| 接続フランジ | ICF070(ICF-034可） |
| アキシャル伝達力 | 30N |
| 直線移動距離 | 50～1500ｍｍ |
| 使用圧力範囲 | 大気圧～10-8Pa |
| 許容ベーキング温度 | 200℃ |
| リーク量 | 2×10-11Pa・ｍ3/sec以下 |
| 質量 | ストローク600（1.3kg） |