- 標準品のトランスファーロッドにUHVオールメタルボンネットタイプが完成。
- 移動ノブは直進と回転と別々に導入可能。
- 内部ロッドは二軸の為、直線移動後にワークの位置決めが可能。
- 前後のストッパーにより任意に位置出し･復元が可能。
- ベーキング温度150℃程度。
- ※移動時は二軸共ノブは同期します。
特長
- 豊富な移動距離
- 容易なメンテナンス
- 超高真空対応
機器仕様
| 型式 | TR-070/500 | TR-070/750 | TR-070/1000 | TR-070/1200 |
| 接合方式 | 磁気 | |||
| 接続フランジ | ICF070 | |||
| 伝達トルク | 0.5Nm | |||
| アキシャル伝達力 | 30N | |||
| 直線移動距離 | 500ｍｍ | 750ｍｍ | 1000ｍｍ | 1200ｍｍ |
| 回転ゲージ | 最小5°、10°、45° 360°1回転 各共通 | |||
| 使用圧力範囲 | 大気圧～10-8Pa | |||
| 許容ベーキング温度 | 150℃ | |||
| リーク量 | 2×10-11Pa・ｍ3/sec以下 | |||
| 質量 | 2.5kg | 3.0kg | 3.3kg | 3.5kg |
※予告なく変更する場合があります。予めご了承ください。